Настоящий стандарт определяет требования, методы контроля, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и содержание формы заказа (или контракта) на кремниевые полированные хлопья вторичной переработки. Настоящий стандарт распространяется на кремниевые пластины для вторичной переработки (в основном включая односторонние или двусторонние полированные кремниевые пластины диаметром 100 мм, 125 мм, 150 мм и 200 мм, неполированные кремниевые пластины или эпитаксиальные кремниевые пластины), предоставленные пользователями или полученные от третьих сторон. кремниевые пластины, полученные полировкой поверхности. Продукты в основном используются для контроля пленок в машиностроении, печной обработке, частицах и фотолитографии. Кроме того, пользователям необходимо обращать внимание на термическую историю, загрязнение тела и отложения на поверхности листов вторичной переработки кремния.
YS/T 985-2014 Ссылочный документ
GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
GB/T 13387 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
GB/T 14144 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 14844 Обозначения полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 19922 Стандартные методы испытаний для измерения плоскостности кремниевых пластин методом бесконтактного сканирования
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
GB/T 6619 Метод испытаний дуги из кремниевых пластин
GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
GB/T 6621 Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния
GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля