GB/T 6620-2009 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием

Стандартный №: GB/T 6620-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 6620-2009
заменять: GB/T 6620-1995

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод бесконтактного испытания на коробление отрезных, шлифовальных и полировальных дисков из монокристалла кремния. Настоящий стандарт распространяется на измерения круглых кремниевых пластин диаметром более 50 мм и толщиной более 180 мкм. Этот стандарт также подходит для измерения коробления других полупроводниковых пластин. Целью данного метода испытаний является входная приемка материалов или контроль процесса. Этот метод испытаний также подходит для мониторинга термохимических эффектов коробления пластин во время обработки устройств.

GB/T 6620-2009 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление
GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния

2009 GB/T 6620-2009 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
1995 GB/T 6620-1995 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием