GB/T 6620-1995
Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6620-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 6620-2009
- Последняя версия
- GB/T 6620-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод бесконтактного измерения коробления режущих, шлифовальных и полирующих пластин монокристалла кремния (далее именуемых кремниевыми пластинами). Этот стандарт подходит для измерения коробления круглых кремниевых пластин диаметром более 50 мм и толщиной 150–1000 мкм. Этот стандарт также подходит для измерения коробления других полупроводниковых пластин.
GB/T 6620-1995 История
- 2009 GB/T 6620-2009 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
- 1995 GB/T 6620-1995 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
