GB/T 6618-2009 (Англоязычная версия) Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния

Стандартный №: GB/T 6618-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 6618-2009
заменять: GB/T 6618-1995

сфера применения: Этот стандарт определяет методы дискретного и сканирующего измерения толщины и изменения общей толщины срезов монокристалла кремния, притертых срезов, полированных срезов и эпитаксиальных пластин (сокращенно кремниевых пластин). Настоящий стандарт применяется для измерения толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин, соответствующих размерам, указанным в GB/T 12964, GB/T 12965 и GB/T 14139. Этот стандарт также может использоваться для измерения толщины и общей толщины. изменение толщины кремниевых пластин с другими характеристиками, если это позволяет испытательное оборудование.

GB/T 6618-2009 Ссылочный документ

GB/T 12964 Полированные пластины монокристаллического кремния.*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 12965 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 14139 Кремниевые эпитаксиальные пластины*， 2019-06-04 Обновление
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление

2009 GB/T 6618-2009 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
1995 GB/T 6618-1995 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния