Этот стандарт определяет методы дискретного точечного и сканирующего измерения толщины и изменения общей толщины вырезанных, шлифованных и полированных пластин монокристалла кремния (сокращенно кремниевых пластин).
GB/T 6618-1995 История
2009GB/T 6618-2009 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
1995GB/T 6618-1995 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния