GB/T 4058-2009
Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 4058-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 4058-2009

заменять

GB/T 4058-1995

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод контроля дефектов вышивки полировкой оксида кремния. Настоящий стандарт применяется к обнаружению вышитых или усиленных кристаллических дефектов на поверхности полированных кремниевых пластин в процессе окисления моделируемого устройства. Этот метод также можно использовать для проверки дефектов вышивки монокристаллического оксида кремния.

GB/T 4058-2009 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
• YS/T 209 Карта дефектов кремниевых материалов на месте

GB/T 4058-2009 История

• 2009 GB/T 4058-2009 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
• 1995 GB/T 4058-1995 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах