GB/T 4058-1995
Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 4058-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 4058-2009
- Последняя версия
- GB/T 4058-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод контроля дефектов, вызванных окислением, на полированных кремниевых пластинах. Настоящий стандарт применяется к обнаружению кристаллических дефектов, возникающих или усиливающихся на поверхности полированных кремниевых пластин в процессе окисления моделируемых устройств.
GB/T 4058-1995 История
- 2009 GB/T 4058-2009 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
- 1995 GB/T 4058-1995 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
