GB/T 6616-2023 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок. (Англоязычная версия)
2023GB/T 6616-2023 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.
2009GB/T 6616-2009 Методы испытаний измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин или поверхностного сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком
1995GB/T 6616-1995 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления полупроводникового кремния или поверхностного сопротивления полупроводниковых пленок бесконтактным вихретоковым датчиком