GB/T 14144-2009 (Англоязычная версия) Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии

Стандартный №: GB/T 14144-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 14144-2009
заменять: GB/T 14144-1993

сфера применения: В этом стандарте используется инфракрасная спектроскопия для определения радиального изменения содержания межузельного кислорода в кристаллах кремния. Этот стандарт требует использования анаэробных эталонных образцов и набора сертифицированных стандартов для калибровки оборудования. Настоящий стандарт применяется к измерению содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния n-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1 Ом·см и монокристаллах кремния p-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,5 Ом·см. Эффективный диапазон этого стандарта для измерения содержания кислорода составляет от 1×10 ат·см до максимальной растворимости межузельного кислорода в твердом состоянии в кристаллах кремния.

GB/T 14144-2009 Ссылочный документ

GB/T 14264-2009 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1557-2006 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению

2009 GB/T 14144-2009 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии
1993 GB/T 14144-1993 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии