Настоящий стандарт определяет метод измерения радиального изменения содержания межузельного кислорода в кристаллах кремния. Настоящий стандарт применим для измерения радиального изменения содержания межузельного кислорода в кристаллах кремния с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1 Ом·см. Диапазон измерений от 3,5×1015ат·см3 до максимальной растворимости межузельного кислорода в кремнии в твердом состоянии.
GB/T 14144-1993 История
2009GB/T 14144-2009 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии
1993GB/T 14144-1993 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии