GB/T 1557-2006
Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 1557-2006
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2019-06
- быть заменен
- GB/T 1557-2018
- Последняя версия
- GB/T 1557-2018
- заменять
- GB/T 1557-1989 GB/T 14143-1993
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод определения содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния методом инфракрасной спектроскопии. Настоящий стандарт применяется к измерению содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния n-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1 Ом·см и монокристаллах кремния p-типа с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,5 Ом·см. Эффективный диапазон этого стандарта для измерения содержания кислорода составляет от 1×1016 ат·см-3 до максимальной растворимости межузельного кислорода в кремнии в твердом состоянии.
GB/T 1557-2006 Ссылочный документ
- ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения*， 2009-10-30 Обновление
GB/T 1557-2006 История
- 2018 GB/T 1557-2018 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
- 2006 GB/T 1557-2006 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению
- 1989 GB/T 1557-1989 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению
GB/T 1557-2006 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению было изменено на GB/T 14143-1993 Метод измерения инфракрасного поглощения содержания кислорода в зазоре кремниевой пластины размером 300-900 мкм.
