Настоящий стандарт определяет метод определения содержания межузельного кислорода в кристаллах кремния методом инфракрасного поглощения. Настоящий стандарт применим для измерения содержания кислорода в кристаллах кремния с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1 Ом·см. Диапазон измерений: концентрация кислорода от 3,5×1515 ат см-3 до максимальной растворимости в твердом состоянии.
GB/T 1557-1989 История
2018GB/T 1557-2018 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
2006GB/T 1557-2006 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению
1989GB/T 1557-1989 Способ определения содержания межузельного кислорода в кремнии по инфракрасному поглощению