GB/T 19922-2005 (Англоязычная версия) Стандартные методы испытаний для измерения плоскостности кремниевых пластин методом бесконтактного сканирования

Стандартный №: GB/T 19922-2005
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2005
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 19922-2005

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод измерения локальной плоскостности поверхности кремниевой пластины методом емкостного измерения смещения. Настоящий стандарт распространяется на бесконтактное и неразрушающее измерение локальной плоскостности сухой и чистой поверхности полупроводниковой кремниевой пластины. Он подходит для травления, полировки и эпитаксиальных кремниевых пластин диаметром 100 мм и выше и толщиной 250 мкм и выше.

GB/T 19922-2005 Ссылочный документ

ASTM F1530-94 Стандартный метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения толщины кремниевых пластин путем автоматического бесконтактного сканирования
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения*， 2009-10-30 Обновление

2005 GB/T 19922-2005 Стандартные методы испытаний для измерения плоскостности кремниевых пластин методом бесконтактного сканирования