ASTM F1530-94
Стандартный метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения толщины кремниевых пластин путем автоматического бесконтактного сканирования
- Стандартный №
- ASTM F1530-94
- Дата публикации
- 1994
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1530-02
- Последняя версия
- ASTM F1530-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает бесконтактную, неразрушающую процедуру определения толщины и плоскостности чистых, сухих полупроводниковых пластин таким образом, что не требуется никаких физических эталонов. 1.2 Настоящий метод испытаний применим к пластинам диаметром 50 мм или более и толщиной примерно 100 мкм (0,004 дюйма) и более, независимо от изменения толщины, качества поверхности и формы пластины. 1.3 В этом методе испытаний измеряется плоскостность передней поверхности пластины, как она выглядит относительно заданной базовой плоскости, когда задняя поверхность воды идеально плоская, как при натягивании на идеально чистый, плоский патрон. Он не измеряет произвольную форму пластины. 1.4. Поскольку в качестве эталона измерения не используется патрон, этот метод испытаний относительно нечувствителен к микроскопическим частицам на задней поверхности пластины. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1530-94 Ссылочный документ
- ASTM F1241
- ASTM F1390 Стандартный метод испытаний для измерения деформации кремниевых пластин методом автоматического бесконтактного сканирования*， 1997-11-10 Обновление
ASTM F1530-94 История
- 1970 ASTM F1530-02
- 1994 ASTM F1530-94 Стандартный метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения толщины кремниевых пластин путем автоматического бесконтактного сканирования
