ASTM F1241-95(2000)

Стандартный №

ASTM F1241-95(2000)

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1241-95(2000)

сфера применения

1.1 Данная терминология охватывает термины и определения, используемые в отношении кремниевых кристаллов и пластин полупроводникового качества. 1.2 Эта терминология охватывает термины, описывающие свойства кремниевых пластин, как указано в спецификациях SEMI M1 и формате SEMI M18. Эти атрибуты включают электрические, структурные, химические и механические характеристики полированных и эпитаксиальных пластин, а также поверхностные дефекты и загрязнения. 1.3 Эта терминология применима для использования в связи с исследованиями, разработками, контролем процессов, закупками и проверками кремниевых материалов. 1.4 Первоначально термины и определения, включенные в этот стандарт, были взяты из других стандартов ASTM, касающихся кремниевых технологий. Первоначальные стандарты таких терминов идентифицируются по их обозначениям, следующим сразу за определением. Все такие стандарты можно найти в этом томе Ежегодного сборника стандартов ASTM. Совсем недавно новые или пересмотренные термины и определения были напрямую выбраны для включения в этот стандарт; эти термины не имеют обозначения, следующего за определением. 1.5 Почти все перечисленные термины являются существительными; в других случаях часть речи указывается явно сразу после термина.

ASTM F1241-95(2000) История

• 1970 ASTM F1241-95(2000)