ASTM F1390-97
Стандартный метод испытаний для измерения деформации кремниевых пластин методом автоматического бесконтактного сканирования
- Стандартный №
- ASTM F1390-97
- Дата публикации
- 1997
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1390-02
- Последняя версия
- ASTM F1390-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает бесконтактную неразрушающую процедуру определения коробления чистых сухих полупроводниковых пластин. 1.2 Метод испытаний применим к пластинам диаметром 50 мм или более и толщиной приблизительно 100 мкм (0,004 дюйма) и более, независимо от изменения толщины и качества поверхности, а также от гравитационно-индуцированной деформации пластины. 1.3 Этот метод испытаний не предназначен для измерения плоскостности открытой поверхности кремния. Деформация — это мера искажения средней поверхности пластины. 1.4 Этот метод испытаний позволяет измерить коробление пластины с поправкой на все механические силы, приложенные во время испытания. Таким образом, описанная процедура дает неограниченное значение деформации. Этот метод испытаний включает в себя средства устранения отклонения, вызванного силой тяжести, которое в противном случае могло бы изменить форму пластины. Результирующий параметр описан Warp(2) в Приложении X2 «Дерево решений формы» в спецификации SEMI M1. (См. Приложение A1.) Примечание 1. Метод испытания F657 измеряет срединную деформацию поверхности с использованием трехточечной базовой плоскости задней поверхности. Привязка к задней поверхности приводит к тому, что изменение толщины включается в записанное значение деформации. Использование (в этом методе испытаний) базовой плоскости срединной поверхности устраняет этот эффект. Использование (в этом методе испытаний) базовой плоскости, соответствующей методу наименьших квадратов, уменьшает изменчивость, вносимую в расчеты трехточечной плоскости за счет выбора местоположения контрольной точки. Использование (в этом методе испытаний) специальных методов калибровки или компенсации сводит к минимуму эффекты искажения пластины, вызванного силой тяжести. %1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать отдельно как стандарт. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1390-97 Ссылочный документ
ASTM F1390-97 История
- 1970 ASTM F1390-02
- 1997 ASTM F1390-97 Стандартный метод испытаний для измерения деформации кремниевых пластин методом автоматического бесконтактного сканирования
