GB/T 6619-2009 (Англоязычная версия) Метод испытаний дуги из кремниевых пластин

Стандартный №: GB/T 6619-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 6619-2009
заменять: GB/T 6619-1995

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод контактного измерения кривизны пластинок монокристалла кремния, шлифования и полировки пластин. Настоящий стандарт применим для измерения кривизны круглых кремниевых пластин диаметром не менее 25 мм, толщиной не менее 180 мкм и отношением диаметра к толщине не более 250. Цель настоящего метода испытаний предназначен для входной приемки материалов и контроля технологических процессов. Этот стандарт также применим для измерения кривизны других полупроводниковых пластин.

GB/T 6619-2009 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление