Настоящий стандарт определяет метод контактного измерения кривизны кремниевых пластин для резки, шлифования и полировки (далее именуемых кремниевыми пластинами). Этот стандарт подходит для измерения кривизны круглых кремниевых пластин диаметром более 50 мм и толщиной 200–1000 мкм. Этот стандарт также применим для измерения кривизны других полупроводниковых пластин.
GB/T 6619-1995 История
2009GB/T 6619-2009 Метод испытаний дуги из кремниевых пластин
1995GB/T 6619-1995 Методы испытаний лука из ломтиков кремния