GB/T 6621-2009
Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6621-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 6621-2009
- заменять
- GB/T 6621-1995
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения плоскостности полированных кремниевых пластин с помощью емкостных датчиков смещения. К этому методу также можно отнести резку пластин, шлифование пластин и коррозионные пластины. Этот стандарт подходит для измерения плоскостности поверхности полированных кремниевых пластин стандартного диаметра 76 мм, 100 мм, 125 мм, 150 мм, 200 мм, удельного сопротивления не более 200 Ом·см и толщины не более 1000 мкм и визуально описывает контур поверхности кремниевой пластины. .
GB/T 6621-2009 История
- 2009 GB/T 6621-2009 Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния
- 1995 GB/T 6621-1995 Методы испытаний на плоскостность поверхности полированных пластин кремния
