GB/T 6621-1995
Методы испытаний на плоскостность поверхности полированных пластин кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 6621-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 6621-2009
- Последняя версия
- GB/T 6621-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин с помощью явления интерференции когерентного света. Этот стандарт подходит для проверки плоскостности поверхности полированных кремниевых пластин, а также для проверки плоскостности поверхности кремниевых эпитаксиальных пластин и зеркальных полупроводниковых пластин.
GB/T 6621-1995 История
- 2009 GB/T 6621-2009 Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния
- 1995 GB/T 6621-1995 Методы испытаний на плоскостность поверхности полированных пластин кремния
