GB/T 13388-2009 (Англоязычная версия) Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами

Стандартный №: GB/T 13388-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 13388-2009
заменять: GB/T 13388-1992

сфера применения: Этот стандарт определяет метод измерения угла a, который представляет собой угол между направлением кристалла, перпендикулярным базовой плоскости круглой кремниевой пластины, и базовой плоскостью поверхности кремниевой пластины. Этот стандарт применим к диапазону длин базовой плоскости кремниевых пластин, который должен соответствовать положениям GB/T 12964 и GB/T 12965, а угловое отклонение кремниевых пластин должно находиться в диапазоне от -5° до +5°. Точность ориентации кристалла, определяемая этим стандартом, напрямую зависит от точности согласования опорной поверхности с базовой перегородкой и точности ориентации перегородки по относительным рентгеновским лучам. Настоящий стандарт содержит следующие два метода испытаний: Метод испытаний 1 — метод краевой дифракции рентгеновских лучей. Метод испытаний 2 — рентгеновский метод обратного отражения Лауэ. Метод испытаний 1 является неразрушающим, чтобы сделать кремниевую пластину уникальной по сравнению с X-образной пластиной. Позиционирование гониометра с лучами аналогично методу испытаний GB/T 1555 1, за исключением использования специальных пластинчатых приспособлений. По сравнению с методом обратного отражения Лауэ этот метод позволяет измерить ориентацию кристалла эталонной поверхности с более высокой точностью. Метод 2 также является неразрушающим и аналогичен методам испытаний ASTM E82 и DIN 50433, часть 3, за исключением того, что для позиционирования базовой плоскости относительно рентгеновского луча используются «мгновенные» негативы и специальные приспособления. Хотя метод 2 проще и быстрее, он не обладает точностью метода 1, поскольку в нем используются менее точные и менее дорогие инструменты и приспособления. Метод 2 обеспечивает постоянную отрицательную запись измерений. Примечание. Интерпретация фотографии Лауэ может дать информацию о дезориентации пластины. Однако это выходит за рамки метода испытаний. Пользователям, желающим выполнить такую интерпретацию, рекомендуется обратиться к ASTM E82 и DIN50433 «Методы испытаний, часть 3» или к стандартным учебникам по рентгеновским исследованиям. Поскольку можно использовать разные приспособления, метод 2 пригоден и для определения ориентации поверхности кремниевых пластин. Значения в этом стандарте указаны в метрических единицах. Значения в британских единицах приведены в скобках только для информации. Примечание. Этот стандарт не затрагивает вопросы безопасности, даже если они связаны с использованием стандарта. Пользователь стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и защиты, а также за определение объема правил и положений перед использованием стандарта.

GB/T 13388-2009 Ссылочный документ

ASTM E82 Стандартный метод испытаний для определения ориентации металлического кристалла
GB/T 12964 Полированные пластины монокристаллического кремния.*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 12965 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.*， 2018-09-17 Обновление
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление

GB/T 13388-2009 История

2009 GB/T 13388-2009 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
1992 GB/T 13388-1992 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на срезах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами