GB/T 13388-1992
Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на срезах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 13388-1992
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1992
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 13388-2009
- Последняя версия
- GB/T 13388-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения кристаллографической ориентации базовой плоскости кремниевых пластин с помощью рентгеновской технологии. Настоящий стандарт применим для измерения углового отклонения между кристаллографической ориентацией базовой плоскости кремниевой пластины и заданной ориентацией базовой плоскости. Диаметр кремниевой пластины составляет 50–125 мм, длина опорной поверхности – 10–50 мм. Настоящий стандарт не распространяется на измерения кремниевых пластин, заданная ориентация которых находится в плоскости, перпендикулярной базовой плоскости и поверхности кремниевой пластины, а также углу между проекцией поверхности кремниевой пластины и нормальной линией кремниевой пластины. поверхности не менее 3°.
GB/T 13388-1992 История
- 2009 GB/T 13388-2009 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
- 1992 GB/T 13388-1992 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на срезах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
