GB/T 1558-2009
Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 1558-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 1558-2009

заменять

GB/T 1558-1997

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения инфракрасного поглощения содержания замещающих атомов углерода в кремнии. Настоящий стандарт применим для определения содержания замещающих атомов углерода в пластинах кремния p-типа с удельным сопротивлением более 3 Ом·см и пластинах кремния n-типа с удельным сопротивлением более 1 Ом·см. Для кремниевых пластин, не требующих высокой точности, можно измерить сопротивление. Содержание замещающих атомов углерода в кремниевых пластинах с показателем выше 0,1Ом·см. Поскольку углерод также может иметь межузельные участки, этот метод не может определить общее содержание углерода. Он также применим для определения содержания замещающих атомов углерода в поликристаллическом кремнии, но углерод в межзеренной области также не может быть определен.

GB/T 1558-2009 Ссылочный документ

• GB/T 14264-2009 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 6618-2009 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния

GB/T 1558-2009 История

• 2009 GB/T 1558-2009 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
• 1997 GB/T 1558-1997 Метод определения содержания замещающего атомарного углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения