GB/T 1558-1997
Метод определения содержания замещающего атомарного углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 1558-1997

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1997

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

быть заменен 2010-06

быть заменен

GB/T 1558-2009

Последняя версия

GB/T 1558-2009

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения инфракрасного поглощения содержания замещающих атомов углерода в кремнии. Настоящий стандарт распространяется на определение концентрации замещающих атомов углерода в монокристаллах кремния с концентрацией носителей менее 5×1016см-3 и удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1Ом·см. Поскольку углерод также может присутствовать в междоузлиях, этот метод не может определить общую концентрацию углерода. Этот стандарт применим также для определения концентрации замещающих атомов углерода в поликристаллическом кремнии, при этом углерод в межзеренной области границы также не может быть определен. Эффективный диапазон настоящего стандарта для измерения концентрации атомов углерода составляет: от концентрации замещающих атомов углерода в кремнии при комнатной температуре 1×1016ат см-3(200ППба) до максимальной растворимости атомов углерода, нижний предел при 77К. до 5×1015ат см (100ППба).

GB/T 1558-1997 История

• 2009 GB/T 1558-2009 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
• 1997 GB/T 1558-1997 Метод определения содержания замещающего атомарного углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения