GB/T 6624-2009
Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 6624-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 6624-2009

заменять

GB/T 6624-1995

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод визуального контроля качества поверхности монокристаллических полированных пластин при определенных условиях освещения. Настоящий стандарт распространяется на контроль качества поверхности полированных кремниевых пластин. К этому методу также можно отнести визуальный контроль качества поверхности эпитаксиальной пластины.

GB/T 6624-2009 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения

GB/T 6624-2009 История

• 2009 GB/T 6624-2009 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
• 1995 GB/T 6624-1995 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля