Настоящий стандарт определяет метод визуального контроля качества поверхности односторонних полированных пластин монокристалла кремния (далее - полированные пластины) при определенных условиях освещения. Настоящий стандарт распространяется на контроль качества поверхности полированных кремниевых пластин.
GB/T 6624-1995 История
2009GB/T 6624-2009 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
1995GB/T 6624-1995 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля