GB/T 11073-2007
Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 11073-2007

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2007

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 11073-2007

заменять

GB/T 11073-1989

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения изменения радиального удельного сопротивления одиночной кремниевой пластины поточным четырехзондовым методом. Настоящий стандарт применяется к измерению изменения радиального удельного сопротивления одиночных кремниевых пластин толщиной меньше среднего расстояния между зондами, диаметром более 15 мм и удельным сопротивлением 1X10³Ом·см~3×10³Ом·см.

GB/T 11073-2007 Ссылочный документ

• GB/T 12965 Монокристаллический кремний в виде нарезанных и притертых пластин.*， 2018-09-17 Обновление
• GB/T 1552 Методика измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния и германия коллинеарной четырехзондовой решеткой
• GB/T 2828 Процедура отбора проб при проверке партии за партией и таблица отбора проб (применимо к непрерывной проверке партии)
• GB/T 6618-1995 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния

GB/T 11073-2007 История

• 2007 GB/T 11073-2007 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
• 1989 GB/T 11073-1989 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.