GB/T 11073-1989
Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 11073-1989
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1989
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2008-02
- быть заменен
- GB/T 11073-2007
- Последняя версия
- GB/T 11073-2007
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод измерения изменения радиального удельного сопротивления одиночной кремниевой пластины поточным четырехзондовым методом. Настоящий стандарт распространяется на кремниевые пластины, толщина которых меньше среднего расстояния между зондами, диаметр которых превышает 15 мм и удельное сопротивление которых составляет 1×10-3～1×103 Ом. См радиальное удельное сопротивление кремния одной пластины Измерение изменения .
GB/T 11073-1989 История
- 2007 GB/T 11073-2007 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
- 1989 GB/T 11073-1989 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
