GB/T 14140-2009
Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 14140-2009

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2009

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 14140-2009

заменять

GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993

сфера применения

Этот стандарт определяет метод измерения диаметра кремниевых пластин с помощью оптического проектора. Этот стандарт подходит для измерения диаметра круглых кремниевых пластин, максимальный измеряемый диаметр составляет ∮300 мм. Не подходит для измерения овальность кремниевых пластин.

GB/T 14140-2009 Ссылочный документ

• GB/T 12964-2003 Полированные пластины монокристаллического кремния.
• GB/T 2828.1-2003 Процедуры отбора проб для проверки по характеристикам. Часть 1. Схемы выборки, индексированные по пределу приемочного качества (AQL), для проверки каждой партии.
• GB/T 6093-2001 Геометрические характеристики изделия (GPS) -- Стандарты длины -- Мерные единицы

GB/T 14140-2009 История

• 2009 GB/T 14140-2009 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
• 1993 GB/T 14140.2-1993 Срезы и пластины кремния. Измерение диаметра. Метод микрометра.