Настоящий стандарт определяет метод измерения диаметра кремниевых пластин микрометром. Настоящий стандарт распространяется на измерение диаметра круглых кремниевых пластин. Диапазон измерения составляет φ25~φ100 мм. Настоящий стандарт не распространяется на измерение овальность кремниевых пластин.
GB/T 14140.2-1993 История
2009GB/T 14140-2009 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
1993GB/T 14140.2-1993 Срезы и пластины кремния. Измерение диаметра. Метод микрометра.