GB/T 14140.1-1993
Срезы и пластины кремния. Измерение диаметра. Метод оптического проецирования. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14140.1-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 14140-2009
- Последняя версия
- GB/T 14140-2009
- сфера применения
- Этот стандарт определяет метод измерения диаметра кремниевых пластин с помощью оптического проектора. Настоящий стандарт распространяется на измерение диаметра круглых кремниевых пластин. Диапазон измерения составляет φ40～φ100 мм. Настоящий стандарт не распространяется на измерение овальность кремниевых пластин. Этот стандарт используется в качестве метода судейских измерений.
GB/T 14140.1-1993 История
- 2009 GB/T 14140-2009 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
- 1993 GB/T 14140.1-1993 Срезы и пластины кремния. Измерение диаметра. Метод оптического проецирования.
GB/T 14140.1-1993 Срезы и пластины кремния. Измерение диаметра. Метод оптического проецирования. было изменено на GB/T 14140-2009 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины.
