GB/T 12964-2003
Полированные пластины монокристаллического кремния. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 12964-2003
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2003
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2019-06
- быть заменен
- GB/T 12964-2018
- Последняя версия
- GB/T 12964-2018
- заменять
- GB/T 12964-1996
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет необходимую соответствующую терминологию, классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, правила обнаружения, маркировку, упаковку, транспортировку, хранение и т. д. кремниевых монокристаллических полированных пластин (сокращенно кремниевых полированных пластин). Настоящий стандарт распространяется на кремниевые полировальные пластины, изготовленные путем односторонней полировки после травления и утонения абразивных пластин монокристаллического кремния Чохральского. Продукция в основном используется для изготовления полупроводниковых устройств, таких как интегральные схемы, или в качестве подложек для эпитаксиального осаждения кремния.
GB/T 12964-2003 История
- 2018 GB/T 12964-2018 Полированные пластины монокристаллического кремния.
- 2003 GB/T 12964-2003 Полированные пластины монокристаллического кремния.
- 0000 GB/T 12964-1996
