GB/T 29506-2013
Пластины полированного монокристаллического кремния диаметром 300 мм. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 29506-2013

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2013

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 29506-2013

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает термины и определения, технические требования, методы испытаний, правила обнаружения и признаки полированных пластин монокристаллического кремния диаметром 300 мм, p-типа, ориентации кристаллов и удельным сопротивлением 0,5 Ом·см~20 Ом·. см. , упаковка, транспортирование, хранение и т.п. Настоящий стандарт распространяется на кремниевые пластины монокристаллические полированные, изготовленные путем двухсторонней полировки монокристаллических шлифовальных пластин Чохральского диаметром 300 мм. Продукт в основном используется для подложек, соответствующих техническим требованиям интегральных схем с шириной линии 90 нм.

GB/T 29506-2013 Ссылочный документ

• GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
• GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
• GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
• GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
• GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2018-09-17 Обновление
• GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
• GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин*， 2018-12-28 Обновление
• GB/T 19922 Стандартные методы испытаний для измерения плоскостности кремниевых пластин методом бесконтактного сканирования
• GB/T 24578 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения*， 2015-12-10 Обновление
• GB/T 26067 Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах
• GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
• GB/T 29504 Монокристаллический кремний 300 мм
• GB/T 29507 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.
• GB/T 29508 Монокристаллический кремний толщиной 300 мм в виде нарезанных и измельченных ломтиков.
• GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
• GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
• YS/T 26 Метод контроля контура края кремниевой пластины*， 2016-07-11 Обновление
• YS/T 679 Измерение длины диффузии неосновных носителей заряда в примесных полупроводниках методом поверхностной фотоэдс*， 2018-10-22 Обновление

GB/T 29506-2013 История

• 2013 GB/T 29506-2013 Пластины полированного монокристаллического кремния диаметром 300 мм.