GB/T 24578-2015 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (Англоязычная версия)
Настоящий стандарт определяет метод количественного определения поверхностной плотности элементов в поверхностном слое полированных кремниевых подложек методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения. Настоящий стандарт распространяется на полированные и эпитаксиальные пластины кремния монокристаллические (далее - кремниевые пластины), особенно на определение поверхностной плотности загрязненных элементов в слое естественного оксида после очистки кремниевых пластин или в оксидном слое, выращенном химическими методами. . Диапазон измерений составляет 109 атомов/см2~1015 атомов/см2. Этот стандарт также применим к другим полупроводниковым материалам, таким как арсенид галлия, карбид кремния, SOI и другим определениям загрязнения поверхности зеркально полированной пластины металлом. Для хорошей зеркально полированной поверхности обнаруживаемая глубина составляет около 5 нм, а глубина анализа увеличивается с улучшением шероховатости поверхности. Этот метод позволяет обнаружить элементы с атомным номером 16(S)~92(U) в периодической таблице, особенно подходит для определения следующих элементов: калий, кальций, титан, ванадий, хром, марганец, железо, кобальт, никель. , медь, цинк, мышьяк, молибден, палладий, серебро, олово, тантал, вольфрам, платина, золото, ртуть и свинец. Предел обнаружения этого метода зависит от атомного номера, энергии возбуждения, светового потока возбуждающего рентгеновского излучения, времени фоновой интеграции оборудования и холостого значения. При постоянных параметрах устройства предел обнаружения без помех является функцией атомного номера элемента, который изменяется более чем на два порядка. См. Приложение А о взаимосвязи между повторяемостью и пределом обнаружения. Этот метод неразрушающий и является дополнением к другим методам испытаний. Сравнение с различными методами испытания поверхности металла и калибровку калибровочных образцов см. в Приложении B.
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 24578-2015 История
2015GB/T 24578-2015 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения
2009GB/T 24578-2009 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения