GB/T 24578-2009
Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 24578-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2017-01
- быть заменен
- GB/T 24578-2015
- Последняя версия
- GB/T 24578-2015
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод испытаний рентгеновской флуоресцентной спектрометрии полного отражения на наличие металлических загрязнений на поверхности кремниевых пластин. Настоящий стандарт распространяется на монокристаллические полированные пластины кремния N-типа и P-типа, эпитаксиальные пластины и другие кремниевые пластины с зеркальной полировкой, особенно в отношении поверхностной плотности загрязненных элементов в слое естественного оксида кремниевых пластин после очистки или в оксиде. Слой, выращенный химическими методами. Определение. Этот метод подходит для измерения элементов, поверхностная плотность которых находится в диапазоне (10-10) атомов/см. Этот метод неразрушающий.
GB/T 24578-2009 Ссылочный документ
- GB/T 14264-1993 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 2828.1-2003 Процедуры отбора проб для проверки по характеристикам. Часть 1. Схемы выборки, индексированные по пределу приемочного качества (AQL), для проверки каждой партии.
GB/T 24578-2009 История
- 2015 GB/T 24578-2015 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения
- 2009 GB/T 24578-2009 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения
