Этот стандарт определяет основные термины и определения полупроводниковых материалов, а также процессов их выращивания, обработки, дефектов кристаллов и загрязнения поверхности. Настоящий стандарт распространяется на элементарные и сложные полупроводниковые материалы.
GB/T 14264-1993 История
2009GB/T 14264-2009 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
1993GB/T 14264-1993 Полупроводниковые материалы. Термины и определения