GB/T 26067-2010 (Англоязычная версия) Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах

Стандартный №: GB/T 26067-2010
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2011
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 26067-2010

сфера применения: 1. Настоящий стандарт качественно предоставляет метод неразрушающего контроля, позволяющий определить, соответствует ли эталонный вырез на кремниевой пластине стандартным предельным требованиям. Принцип испытания этого метода также применим к измерению надрезов других размеров. 2. Когда размер объекта в плоскости в этом стандарте составляет 0,1 мм, изображение размером 2,0 мм будет сформировано на проекционном экране после увеличения в 20 раз, а проекция размером 5,0 мм будет создана после увеличения в 50 раз. Этот метод позволяет найти детали мельчайших размеров по контуру разреза. 3. Настоящий стандарт не предусматривает испытания радиуса кривизны в верхней части выреза.

GB/T 26067-2010 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление

2011 GB/T 26067-2010 Стандартный метод испытаний размеров надрезов на кремниевых пластинах