GB/T 26065-2010
Спецификация на полированные тестовые кремниевые пластины (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 26065-2010

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2011

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 26065-2010

сфера применения

1. Настоящий стандарт устанавливает технические требования к образцам монокристаллов кремния, используемым для контроля и управления технологическими процессами при производстве полупроводниковых приборов. 2. Настоящий стандарт охватывает такие характерные требования, как размеры, ориентация кристаллов и дефекты поверхности. Этот стандарт включает технические требования к полированным кремнием образцам всех стандартных диаметров от 50,8 мм до 300 мм. 3. Спецификации полированных кремниевых монокристаллических пластин с более высокими требованиями, таких как: кремниевые пластины для тестирования частиц, кремниевые пластины для фотолитографических тестов разрешения, пластины для мониторинга ионов металлов и т. д., см. в SEMI24 «Спецификации для высококачественного полированного кремния». Монокристаллические пластины».

GB/T 26065-2010 Ссылочный документ

• ASTM F1526 
• GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
• GB/T 12964 Полированные пластины монокристаллического кремния.*， 2018-09-17 Обновление
• GB/T 13387 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
• GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
• GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
• GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
• GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2018-09-17 Обновление
• GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление
• GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
• GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
• GB/T 6619 Метод испытаний дуги из кремниевых пластин
• GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
• GB/T 6621 Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния
• GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
• YS/T 26 Метод контроля контура края кремниевой пластины*， 2016-07-11 Обновление

GB/T 26065-2010 История

• 2011 GB/T 26065-2010 Спецификация на полированные тестовые кремниевые пластины