В этом документе указаны марки и категории, технические требования, методы испытаний, правила контроля, знаки, упаковка, транспортирование, хранение, сопроводительная документация и бланки заказа поликремния электронного назначения. Настоящий документ распространяется на поликремний электронного качества (далее именуемый «полисремний»), изготовленный из хлорсилана и силана.
GB/T 12963-2022 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 14844 Обозначения полупроводниковых материалов
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов
GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.
GB/T 1553 Определение времени жизни неосновных носителей заряда в кремнии и германии методом распада фотопроводимости*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения
GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
GB/T 24574 Методы испытаний фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на примеси Ⅲ-Ⅴ
GB/T 24581 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.
GB/T 24582 Определение содержания металлических примесей на поверхности поликремния методом масс-спектрометрии с кислотным выщелачиванием и индуктивно-связанной плазмой*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 29057 Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом зонного вытягивания и спектроскопического анализа.*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 35306 ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОДЕРЖАНИЯ УГЛЕРОДА И КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛЕ КРЕМНИЯ Низкотемпературная инфракрасная спектроскопия с Фурье-преобразованием*, 2023-08-06 Обновление
GB/T 37049 Метод определения содержания металлических примесей в поликремнии электронного качества — метод масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой.
GB/T 4059 Метод определения содержания фосфора в поликристаллическом кремнии методом зонной плавки в контролируемой атмосфере
GB/T 4060 Метод определения содержания бора в поликристаллическом кремнии методом зонной вакуумной плавки
GB/T 4061 Метод исследования поликристаллического кремния-оценка сэндвичей на поперечном сечении химической коррозией
GB/T 12963-2022 История
2022GB/T 12963-2022 Поликристаллический кремний электронного качества
2014GB/T 12963-2014 Поликристаллический кремний электронного качества