GB/T 24582-2023
Определение содержания металлических примесей на поверхности поликремния методом масс-спектрометрии с кислотным выщелачиванием и индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)

Стандартный №: GB/T 24582-2023
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2023
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 24582-2023
заменять: GB/T 24582-2009

GB/T 24582-2023 История

2023 GB/T 24582-2023 Определение содержания металлических примесей на поверхности поликремния методом масс-спектрометрии с кислотным выщелачиванием и индуктивно-связанной плазмой
2009 GB/T 24582-2009 Метод испытаний для измерения поверхностного металлического загрязнения поликристаллического кремния методом масс-спектрометрии с кислотной экстракцией и индуктивно связанной плазмой