GB/T 24582-2009
Метод испытаний для измерения поверхностного металлического загрязнения поликристаллического кремния методом масс-спектрометрии с кислотной экстракцией и индуктивно связанной плазмой (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 24582-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2024-03
- быть заменен
- GB/T 24582-2023
- Последняя версия
- GB/T 24582-2023
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод анализа выщелачивания металлических примесей с поверхности блока поликристаллического кремния кислотой и количественного определения следовых количеств металлических примесей на поверхности поликристаллического кремния с помощью масс-спектрометра с индуктивно связанной плазмой. Настоящий стандарт применяется к обнаружению щелочных металлов, щелочноземельных металлов и переходных элементов первого ряда, таких как натрий, калий, кальций, железо, никель, медь, цинк и других элементов, таких как алюминий. Настоящий стандарт распространяется на обнаружение металлических загрязнений на поверхности различных стержней, блоков, зерен и чешуек. Из-за неправильной формы блоков, чешуек или гранул сложно точно измерить площадь. Таким образом, согласно результатам расчета массы образца, используемая масса образца составляет от 50 г до 300 г, а предел обнаружения составляет 0,01 нг/мл. Концентрация, состав, температура и время выщелачивания кислоты определяют глубину поверхностной коррозии и эффективность выщелачивания поверхностных загрязнений. В этом экспериментальном методе было вытравлено менее 1% массы образца. Настоящий стандарт распространяется на определение проб массой от 25 г до 5000 г. Для достижения цели арбитража этот метод испытаний предусматривает, что вес образца составляет около 300 г.
GB/T 24582-2009 Ссылочный документ
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
- ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*， 2015-12-01 Обновление
- SEMI C30
GB/T 24582-2009 История
- 2023 GB/T 24582-2023 Определение содержания металлических примесей на поверхности поликремния методом масс-спектрометрии с кислотным выщелачиванием и индуктивно-связанной плазмой
- 2009 GB/T 24582-2009 Метод испытаний для измерения поверхностного металлического загрязнения поликристаллического кремния методом масс-спектрометрии с кислотной экстракцией и индуктивно связанной плазмой
