GB/T 1551-2021 (Англоязычная версия) Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.

Стандартный №: GB/T 1551-2021
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2021
Разместил: 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
Последняя версия: GB/T 1551-2021
заменять: GB/T 1551-2009

сфера применения: В этом документе определен метод испытания удельного сопротивления монокристаллов кремния поточным четырехзондовым методом и двухзондовым методом постоянного тока. Этот документ применим к испытанию удельного сопротивления монокристалла кремния. Диапазон удельного сопротивления монокристалла кремния p-типа, который можно проверить поточным четырехзондовым методом, составляет 7×10 Ом·см~8×103 Ом·см, монокристалла кремния n-типа. Диапазон удельного сопротивления составляет 7× 10-4 Ом·см~1,5×104 Ом·см; Двухзондовый метод постоянного тока подходит для тестирования удельного сопротивления круглых, квадратных или прямоугольных монокристаллов кремния с одинаковой площадью поперечного сечения, а диапазон испытаний составляет 1×104 Ом·см. 10-3 Ом·см~1×-4 104 Ом·см, отношение длины образца к наибольшему размеру сечения не менее 3:1. Испытание удельного сопротивления монокристалла кремния в других диапазонах можно найти в этом документе.

GB/T 1551-2021 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов

GB/T 1551-2021 История

2021 GB/T 1551-2021 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.
2009 GB/T 1551-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния
1995 GB/T 1551-1995 Метод испытания удельного сопротивления кремниевых и германиевых брусков с помощью двухточечного зонда