Настоящий стандарт определяет метод измерения удельного сопротивления слитков монокристаллов кремния и германия с помощью двух датчиков постоянного тока. Этот стандарт подходит для измерения удельного сопротивления круглых, квадратных или прямоугольных монокристаллических слитков с одинаковой площадью поперечного сечения. Диапазон измерения: 10-3~104Ом·см для монокристалла кремния, 5×10-4~102Ом·см для монокристалла германия. Отношение длины образца к максимальному размеру сечения не должно быть менее 3:1.
GB/T 1551-1995 История
2021GB/T 1551-2021 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.
2009GB/T 1551-2009 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния
1995GB/T 1551-1995 Метод испытания удельного сопротивления кремниевых и германиевых брусков с помощью двухточечного зонда