GB/T 37049-2018 Метод определения содержания металлических примесей в поликремнии электронного качества — метод масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. (Англоязычная версия)
2018GB/T 37049-2018 Метод определения содержания металлических примесей в поликремнии электронного качества — метод масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой.