GB/T 4061-2009
Метод исследования поликристаллического кремния-оценка сэндвичей на поперечном сечении химической коррозией (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 4061-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 4061-2009
- заменять
- GB/T 4061-1983
- сфера применения
- Настоящий стандарт устанавливает метод испытаний поперечной межслойной химической коррозии кремниевых поликристаллических стержней, изготовленных из трихлорсилана и тетрахлорсилана в качестве сырья и восстановленных водородом в восстановительной печи. Проверка промежуточных слоев секций в настоящем стандарте применима к стержням из поликристаллического кремния, выращенным восстановительным осаждением водородом в восстановительной печи с использованием трихлорсилана и тетрахлорсилана в качестве сырья и тонких кремниевых сердечников в качестве нагревательных элементов.
GB/T 4061-2009 История
- 2009 GB/T 4061-2009 Метод исследования поликристаллического кремния-оценка сэндвичей на поперечном сечении химической коррозией
- 1983 GB/T 4061-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Оценка сэндвичей по поперечному сечению методом химической коррозии.
