GB/T 4061-1983
Поликристаллический кремний. Метод исследования. Оценка сэндвичей по поперечному сечению методом химической коррозии. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 4061-1983
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1983
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-06
- быть заменен
- GB/T 4061-2009
- Последняя версия
- GB/T 4061-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт применим к кремниевым поликристаллическим стержням, выращенным водородным восстановлением трихлорсилана и тетрахлорида кремния для нанесения поликристаллического кремния на тонкие кремниевые сердцевины.
GB/T 4061-1983 История
- 2009 GB/T 4061-2009 Метод исследования поликристаллического кремния-оценка сэндвичей на поперечном сечении химической коррозией
- 1983 GB/T 4061-1983 Поликристаллический кремний. Метод исследования. Оценка сэндвичей по поперечному сечению методом химической коррозии.
