GB/T 24574-2009 (Англоязычная версия) Методы испытаний фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на примеси Ⅲ-Ⅴ

Стандартный №: GB/T 24574-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 24574-2009

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод фотолюминесцентных испытаний примесей групп III-V в монокристалле кремния. Настоящий стандарт распространяется на одновременное определение содержания проводящих примесей бора и фосфора в малодислокационном монокристаллическом кремнии. Этот стандарт используется для обнаружения различных электроактивных примесных элементов с содержанием от 1×10 ат•см до 5×10 ат•см в монокристаллическом кремнии.

GB/T 24574-2009 Ссылочный документ

GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.*， 2014-12-31 Обновление
GB/T 24581 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.*， 2022-03-09 Обновление

2009 GB/T 24574-2009 Методы испытаний фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на примеси Ⅲ-Ⅴ