GB/T 24581-2022 (Англоязычная версия) Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.

сфера применения: В этом документе описан метод определения примесей III и V групп в монокристаллах кремния методом низкотемпературной инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье. Настоящий документ распространяется на содержание примесей III и V групп алюминия (Al), сурьмы (Sb), мышьяка (As), бора (Б), галлия (Ga), индия (In) и фосфора (P) в кремнии одинарном. Определение кристалла, диапазон определения каждого элемента (по атомному номеру) составляет 1,0×1010см-3 ~4,1×1014см-3.

GB/T 24581-2022 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 29057 Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом зонного вытягивания и спектроскопического анализа.*， 2023-08-06 Обновление
GB/T 8322 Молекулярно-абсорбционная спектрометрия. Терминология.

2022 GB/T 24581-2022 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.
2009 GB/T 24581-2009 Метод испытаний низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей Ⅲ-Ⅴ