GB/T 24581-2009
Метод испытаний низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей Ⅲ-Ⅴ (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 24581-2009
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2022-10
- быть заменен
- GB/T 24581-2022
- Последняя версия
- GB/T 24581-2022
- сфера применения
- Настоящий стандарт применим для обнаружения электроактивных элементов бора (B), фосфора (P), мышьяка (As), алюминия (Al), сурьмы (Sb) и галлия (Ga) в отдельных кремниевых продуктах. Диапазон концентраций каждой примеси или легирующей примеси электроактивного элемента в кремнии, к которому применяется настоящий стандарт, составляет (0,01×10～5,0×1O)a. Концентрацию каждой примеси или легирующей добавки можно определить по закону Бера, а для каждого элемента указан калибровочный коэффициент.
GB/T 24581-2009 Ссылочный документ
- ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии
- ASTM E168 Стандартные методы общих методов инфракрасного количественного анализа
- ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM
- ASTM E275 Стандартная практика описания и измерения характеристик спектрофотометров ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного диапазона
- GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.*， 2014-12-31 Обновление
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 1558 Метод определения содержания замещающего атомного углерода кремния методом инфракрасного поглощения
- GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
GB/T 24581-2009 История
- 2022 GB/T 24581-2022 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.
- 2009 GB/T 24581-2009 Метод испытаний низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей Ⅲ-Ⅴ
