GB/T 13389-2014 (Англоязычная версия) Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.

Стандартный №: GB/T 13389-2014
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2014
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 13389-2014
заменять: GB/T 13389-1992

сфера применения: Этот стандарт определяет соотношение преобразования между удельным сопротивлением монокристаллов кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком, и концентрацией легирующей примеси. , другие добавки, подобные фосфору. Настоящий стандарт применим к концентрации легирования бором 1014 см-3~1×1020 см-3, концентрации легирования фосфором 3×1013 см<надстрочный индекс-3>~1×1020 см-3, концентрации легирования мышьяком 1019 см-3~6 ×1020 см. Для монокристаллического кремния, легированного бором и фосфором, концентрация легирующей примеси может быть увеличена до 1012 см-3. Этот стандарт также может использоваться для преобразования удельного сопротивления монокристалла кремния в концентрацию носителей при 23 ℃, но не включает преобразование концентрации носителей легирующих примесей мышьяка или любое другое преобразование концентрации носителей.

GB/T 13389-2014 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
GB/T 1551 Метод испытаний для измерения удельного сопротивления монокристаллического кремния — метод линейного четырехточечного зонда и метод двухточечного зонда постоянного тока.*， 2021-05-21 Обновление
GB/T 4326 Измерение подвижности Холла и коэффициента Холла внешними полупроводниковыми монокристаллами

GB/T 13389-2014 История

2014 GB/T 13389-2014 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.
1992 GB/T 13389-1992 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором и фосфором.